主要性能
大功率脈沖磁控濺射電源以快速開(kāi)關(guān)控制正負電極放電,避免從傳統磁控濺射之異常輝光放電區進(jìn)入電弧放電區,電流密度可達1019 /m3 ,比傳統磁控濺射高三個(gè)量級,離化率更高達70%-100% ,可輕易沉積各種高級膜,
附著(zhù)力強。幾乎不用改變原來(lái)磁控濺射鍍膜設備,可直接更換電源即可。
主要特點(diǎn)
DSP全數字控制,自動(dòng)化程度高
具有過(guò)流、過(guò)壓、超溫保護
全逆變設計,大功率IGBT功率模塊為主要器件,脈沖輸出有較強的沖擊力,單脈沖功率可達MW級
主要參數
1、 輸入電壓:380V±5%,50HZ,三相交流
2、 輸出電壓:100V-4000V,脈沖電壓;
3、 輸出電流:100A-2000A,脈沖電流;
4、 輸出脈寬:5-2500us,可設定;
5、 頻率:30Hz-50kHz,可選擇范圍;
6、 輸出功率:10KW 20KW 30KW 40KW 50KW